對于正集流盤清潔度檢測，以下是一些可能的步驟：

準備檢測設備：可能需要使用顯微鏡、光源、顯微攝像機等設備。確保設備干凈并且正確校準。

取下正集流盤：將正集流盤取下并清潔，以確保其表面沒有附著物。

觀察表面：使用顯微鏡或放大鏡等設備觀察正集流盤表面。檢查是否有污漬、油脂、灰塵等雜質，以及是否有劃痕或其他表面缺陷。

拍照記錄：可以拍照記錄正集流盤表面的情況，以便于比對和記錄。

清潔：如果表面有污漬等附著物，可以使用適當?shù)那鍧崉┣鍧崱Ｕ堊⒁?，不要使用會對正集流盤表面造成損害的清潔劑。

重新安裝：確保正集流盤完全干燥后，重新安裝到設備中。

測試：重新啟動設備，測試正集流盤的性能和清潔度是否符合要求。

需要注意的是，以上步驟可能因具體設備和清潔要求的不同而有所不同。如果您不確定如何進行正集流盤清潔度檢測，建議咨詢專業(yè)技術人員。